Ṣaaju awọn ọdun 1930, ni ipilẹ Jamani ati Faranse nikan le gbe awọn olupilẹṣẹ atẹgun jade.Ni akoko yẹn, awọn olupilẹṣẹ atẹgun (ayipada titẹ adsorption awọn olupilẹṣẹ atẹgun) le pade awọn iwulo alurinmorin ati gige awọn ohun elo atẹgun ati awọn ohun elo iṣelọpọ nitrogen ti o nilo fun ile-iṣẹ kemikali.Isejade ti atẹgun Generators je o kun kekere ati alabọde-won, pẹlu kan agbara ti 2m3/h to 600m3/h ati nipa 200 orisirisi.Awọnatẹgun monomonoilana ti a lo jẹ titẹ-giga ati ilana titẹ-alabọde.
Lati 1930 si 1950, ni afikun si Germany ati France, awọn orilẹ-ede miiran gẹgẹbi Soviet Union, Japan, United States ati United Kingdom tun bẹrẹ lati gbe awọn apanirun atẹgun.Ni asiko yii, pẹlu idagbasoke iṣelọpọ, aaye ohun elo ti awọn olupilẹṣẹ atẹgun (ayipada titẹ adsorption atẹgun atẹgun) ti fẹ sii ati idagbasoke awọn olupilẹṣẹ atẹgun nla ti ni igbega.Bi awọn itanna ati awọn ohun elo irin ti a nilo lati gbejade 1 m3 ti atẹgun ni awọn olutọpa atẹgun nla ti o ga ju awọn ti o wa ni kekere ati alabọde ti o pọju, awọn orisirisi awọn atẹgun atẹgun ti o pọju pọ sii lati 1930 si 1950, gẹgẹbi 5000 m3 / h ni West Germany, 3600 m3 / h ni USSR ati 3000 m3 / h ni Japan.awọn ilana ti a lo ni akoko yẹn, ni afikun si titẹ giga ati alabọde, bẹrẹ lati lo awọn ilana titẹ giga ati kekere.Ni ọdun 1932, Germany lo awọn apilẹṣẹ atẹgun fun igba akọkọ ni awọn ile-iṣẹ irin ati amonia.
Lẹhin 1950, ni afikun si awọn olupilẹṣẹ atẹgun (awọn olupilẹṣẹ atẹgun ti o yatọ) ti a ṣe ni awọn orilẹ-ede ti o wa loke, nibẹ ni China, Czech Republic, East Germany, Hungary, Italy, ati bẹbẹ lọ (China jẹ alagbese ti o pẹ, gbogbo wọn ni tutu-tutu. ).
Nitori idagbasoke ile-iṣẹ irin, ile-iṣẹ ajile nitrogen ati imọ-ẹrọ rocket, agbara ti atẹgun ati nitrogen ti pọ si ni iyara, eyiti o ti ṣe agbega idagbasoke nla ti awọn olupilẹṣẹ atẹgun.Lati ọdun 1957, awọn olupilẹṣẹ atẹgun 10,000m3 / h ti ṣe agbekalẹ ọkan lẹhin ekeji.niwon 1967, ni ibamu si awọn iṣiro ti ko pe, awọn olupilẹṣẹ atẹgun nla 87 wa loke 20,000 m3 / h, ẹyọ ti o tobi julọ jẹ 50,000 m3 / h, ati pe o tobi julọ wa labẹ idagbasoke.
Ni awọn ọdun 20 sẹhin, ibiti ọja naa ti pọ si ni iyara ati diėdiẹ ṣe agbekalẹ lẹsẹsẹ kan.Fun apẹẹrẹ, Olupilẹṣẹ atẹgun nla ti West Germany Linde ni 1000 ~ 40000m3 / h awọn ọja aṣoju;Japan kobelco ni o ni OF jara;Japan Hitachi ẹrọ gbogbo TO si dede;Atẹgun Japan ni iru NR;Ilu Gẹẹsi ni 50 ~ 1500 toonu / awọn ọja jara ọjọ kan.Ni akoko kanna, awọn olupilẹṣẹ atẹgun nla ni ipilẹ lo ilana titẹ kekere ni kikun.
Ni kukuru, idagbasoke ti olupilẹṣẹ atẹgun (iyipada titẹ adsorption atẹgun atẹgun) jẹ ilana ti ko tọ, ati awọn ohun elo ti ni idagbasoke lati kekere ati alabọde-iwọn si tobi.Ilana naa ti ni idagbasoke lati titẹ giga (awọn oju-aye 200), titẹ alabọde (awọn oju-aye 50) ati titẹ giga ati kekere si titẹ kekere ni kikun (awọn oju-aye 6), nitorinaa idinku agbara agbara kuro ati agbara ohun elo irin ti olupilẹṣẹ atẹgun ati faagun iṣẹ naa. iyipo.